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公开(公告)号：CN101195178B
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200710144867.4
申请日：2007-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 龙门式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明解决了现有技术中没能提供用于平面超精密加工的专用设备来加工非线性光学领域所急需的KDP晶体等功能材料的问题。所述主轴套(38)套装在气体静压主轴(35)上，飞刀盘(34)安装在气体静压主轴(35)的下端上，上溜板(41)的两端通过两个中间溜板(45)与两个下溜板(46)分别固接并形成凹槽(62)，所述导轨(42)的上端安装在凹槽(62)内，真空吸盘(57)安装在上溜板(41)上，丝母(58)套装在丝杠(11)上，丝杠(11)的两端安装在导轨(42)的上端。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动，而且导轨和主轴均采用了空气静压的控制方式，具有精度高、无污染等优点。
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公开(公告)号：CN101157181A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710144617.0
申请日：2007-11-16
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 超精密驱动机构，它涉及一种驱动机构。本发明的目的是为解决现有直线运动的超精密工作台的缺点是静、动态刚度较低，抵抗外界干扰的能力较差的问题。本发明中间推动板的上部设置在前推动板和后推动板之间，中间推动板的下端与气浮转换块的上端相连接，前推动板内设有第一节流小孔，后推动板内设有第二节流小孔，中间推动板与前推动板之间形成第一气体静压气膜腔，中间推动板与后推动板之间形成第二气体静压气膜腔，气浮转换块内设有静压节流小孔。本发明的优点是：结构简单、工作可靠，彻底消除了丝杠驱动方向之外的两个方向的力干扰。精度高，大行程超精密工作台的直线度达到了0.17μm/600mm。承载能力高，应用范围广，可应用于多种形式的超精密工作台的驱动。
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公开(公告)号：CN103111855B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201310052562.6
申请日：2013-02-18
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23Q1/38
CPC分类号： F16C32/0696 , F16C2300/14 , F16C2322/39
摘要： 一种大径高比超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上，上浮止推板与转台底座固接，下浮止推板通过内隔环与转台底座固接，下浮止推板置于上浮板的环形槽内，径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接，主轴与上浮板固接，液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜，在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜，从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。
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公开(公告)号：CN100566928C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710144617.0
申请日：2007-11-16
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 超精密驱动机构，它涉及一种驱动机构。本发明的目的是为解决现有直线运动的超精密工作台的缺点是静、动态刚度较低，抵抗外界干扰的能力较差的问题。本发明中间推动板的上部设置在前推动板和后推动板之间，中间推动板的下端与气浮转换块的上端相连接，前推动板内设有第一节流小孔，后推动板内设有第二节流小孔，中间推动板与前推动板之间形成第一气体静压气膜腔，中间推动板与后推动板之间形成第二气体静压气膜腔，气浮转换块内设有静压节流小孔。本发明的优点是：结构简单、工作可靠，彻底消除了丝杠驱动方向之外的两个方向的力干扰。精度高，大行程超精密工作台的直线度达到了0.17μm/600mm。承载能力高，应用范围广，可应用于多种形式的超精密工作台的驱动。
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公开(公告)号：CN101195178A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200710144867.4
申请日：2007-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 龙门式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明解决了现有技术中没能提供用于平面超精密加工的专用设备来加工非线性光学领域所急需的KDP晶体等功能材料的问题。所述主轴套(38)套装在气体静压主轴(35)上，飞刀盘(34)安装在气体静压主轴(35)的下端上，上溜板(41)的两端通过两个中间溜板(45)与两个下溜板(46)分别固接并形成凹槽(62)，所述导轨(42)的上端安装在凹槽(62)内，真空吸盘(57)安装在上溜板(41)上，丝母(58)套装在丝杠(11)上，丝杠(11)的两端安装在导轨(42)的上端。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动，而且导轨和主轴均采用了空气静压的控制方式，具有精度高、无污染等优点。
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公开(公告)号：CN103111855A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310052562.6
申请日：2013-02-18
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23Q1/38
CPC分类号： F16C32/0696 , F16C2300/14 , F16C2322/39
摘要： 一种大径高比超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域。以满足加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床要求。上、下浮节流器安装于上、下浮止推板上，上浮止推板与转台底座固接，下浮止推板通过内隔环与转台底座固接，下浮止推板置于上浮板的环形槽内，径向轴瓦通过下浮止推板和内隔环与转台底座固接，主轴与上浮板固接，液压油经节流器节流在上浮板和上浮止推板之间形成上浮液体静压止推油膜，在下浮板和下浮止推板之间形成下浮静压止推油膜，在径向轴瓦和主轴之间形成径向静压支承油膜，从而形成轴向闭式液体静压平面圆环止推轴承和径向液体静压圆柱轴承。本发明用于加工高精度大口径非球面光学零件的大型超精密机床。
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公开(公告)号：CN101780547B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201010135440.X
申请日：2010-03-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23B19/02
摘要： 一种超精密加工机床分离驱动式主轴系统，它涉及一种超精密气体静压主轴系统。本发明为解决现有超精密加工装备中，主轴系统中的电机和主轴为刚性连接，动力传递效果较差及刚性连接对主轴回转精度有影响的问题。本发明的交流伺服电机通电后，交流伺服电机开始转动，带动柔性驱动组件转动，平皮带转动带动拨杆产生旋转扭矩驱动主轴旋转进行切削。高压空气经轴向进气孔进入，经径向节流小孔节流后在径向气膜间隙处形成径向气体静压膜，该径向气体静压膜支撑主轴及其径向载荷，高压空气经第一轴向节流小孔节流后在轴向气膜间隙处形成轴向气体静压膜，该轴向气体静压膜支撑主轴及其轴向载荷。本发明用于多种形式的超精密车床、超精密铣床上。
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公开(公告)号：CN101780547A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN201010135440.X
申请日：2010-03-30
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23B19/02
摘要： 一种超精密加工机床分离驱动式主轴系统，它涉及一种超精密气体静压主轴系统。本发明为解决现有超精密加工装备中，主轴系统中的电机和主轴为刚性连接，动力传递效果较差及刚性连接对主轴回转精度有影响的问题。本发明的交流伺服电机通电后，交流伺服电机开始转动，带动柔性驱动组件转动，平皮带转动带动拨杆产生旋转扭矩驱动主轴旋转进行切削。高压空气经轴向进气孔进入，经径向节流小孔节流后在径向气膜间隙处形成径向气体静压膜，该径向气体静压膜支撑主轴及其径向载荷，高压空气经第一轴向节流小孔节流后在轴向气膜间隙处形成轴向气体静压膜，该轴向气体静压膜支撑主轴及其轴向载荷。本发明用于多种形式的超精密车床、超精密铣床上。
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