- 专利标题: 一种使用悬浮衬套管氨热法生长氮化镓体单晶的装置和方法
- 专利标题(英): Device and method for growing gallium nitride single crystal by using suspending lining sleeve ammonothermal method
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申请号: CN201310083667.8申请日: 2013-03-15
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公开(公告)号: CN103132130A公开(公告)日: 2013-06-05
- 发明人: 王金亮 , 何小玲 , 周海涛 , 张昌龙 , 左艳彬 , 霍汉德 , 李东平 , 覃世杰 , 任孟德 , 卢福华
- 申请人: 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司
- 申请人地址: 广西壮族自治区桂林市辅星路9号
- 专利权人: 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司
- 当前专利权人: 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司,桂林百锐光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 广西壮族自治区桂林市辅星路9号
- 代理机构: 桂林市持衡专利商标事务所有限公司
- 代理商 唐智芳
- 主分类号: C30B7/14
- IPC分类号: C30B7/14 ; C30B7/10 ; C30B29/38
摘要:
本发明公开了一种使用悬浮衬套管氨热法生长氮化镓体单晶的装置和方法。所述的装置,包括高压釜、衬套管、电阻炉以及一用于冷却并转移衬套管的冷却容器,该冷却容器为液氮罐或杜瓦瓶。所述的方法包括:1)向衬套管内加入培养料,焊接衬套管的顶盖和管口,置于真空手套箱中,经充液管加入卤化氨盐和液氨,密封充液管,将其放入预先填充有致冷剂的冷却容器中,密封冷却容器;2)向经冷却处理后的高压釜中填充液氨;3)取出被冷却的衬套管并置于高压釜中,密封高压釜,将其置于电阻炉中,设置生长区和溶解区的温度,经过生长得到氮化镓体单晶。采用上述装置和方法生长氮化镓体单晶,可以保证衬套管在近似恒温的条件下转移至高压釜中,且不泄漏。
公开/授权文献
- CN103132130B 一种使用悬浮衬套管氨热法生长氮化镓体单晶的装置和方法 公开/授权日:2015-11-18