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硅锭制造用容器
摘要:
提供了能够防止硅熔融液漏出至外部并且能够成品率良好地制造具有良好品质的硅锭的硅锭制造用容器。硅锭制造用容器具备由底板和多个侧板构成的以能够分割的方式组装的箱状容器本体、以及形成于该容器本体的内表面的脱模材料,在使硅熔融液凝固而使多晶硅生长时使用,其中,由氮化硅、碳化硅或氧化铝中的任一种所构成的多孔体或两种以上组合的多孔体构成容器本体,由氮化硅构成脱模材料。另外,构成容器本体的多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。由于脱模材料牢固地形成于容器本体的内表面,因而能够有效地防止脱模材料由于伴随硅凝固时的体积膨胀的应力而损坏。
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