发明公开
CN103140443A 硅锭制造用容器
失效 - 权利终止
- 专利标题: 硅锭制造用容器
- 专利标题(英): Silicon ingot manufacturing vessel
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申请号: CN201180048726.7申请日: 2011-10-03
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公开(公告)号: CN103140443A公开(公告)日: 2013-06-05
- 发明人: 吉泽彰 , 清水孝幸 , 朝日聪明
- 申请人: 吉坤日矿日石金属株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 吉坤日矿日石金属株式会社
- 当前专利权人: 捷客斯金属株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 肖日松; 杨楷
- 优先权: 2010-228613 2010.10.08 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/072725 2011.10.03
- 国际公布: WO2012/046674 JA 2012.04.12
- 进入国家日期: 2013-04-08
- 主分类号: C01B33/02
- IPC分类号: C01B33/02
摘要:
提供了能够防止硅熔融液漏出至外部并且能够成品率良好地制造具有良好品质的硅锭的硅锭制造用容器。硅锭制造用容器具备由底板和多个侧板构成的以能够分割的方式组装的箱状容器本体、以及形成于该容器本体的内表面的脱模材料,在使硅熔融液凝固而使多晶硅生长时使用,其中,由氮化硅、碳化硅或氧化铝中的任一种所构成的多孔体或两种以上组合的多孔体构成容器本体,由氮化硅构成脱模材料。另外,构成容器本体的多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。由于脱模材料牢固地形成于容器本体的内表面,因而能够有效地防止脱模材料由于伴随硅凝固时的体积膨胀的应力而损坏。
公开/授权文献
- CN103140443B 硅锭制造用容器 公开/授权日:2015-10-14