一种硼硅酸盐玻璃及球形氧化铝低温共烧陶瓷生瓷带及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种硼硅酸盐玻璃及球形氧化铝低温共烧陶瓷生瓷带及其制备方法,该生瓷带由玻璃-陶瓷复合材料和流延介质组成,其中玻璃-陶瓷复合材料是由硼硅酸盐玻璃、球形氧化铝组成;流延介质是由混合溶剂、单体粘结剂、塑性剂和分散剂组成。本发明制备的低温共烧陶瓷生带表面平整、光滑,生带固含量可达88~92wt%,烧成收缩率为9~11%,各个方向烧结收缩率差异小,能在850℃实现与Au、Ag等低熔点金属布线共烧。本发明提供的生料带烧结瓷体具有优良的介电性能:10GHz下,介电常数(εr)为7~8,介质损耗(tanδ)小于2×10-3,并有效解决了传统LTCC生瓷带烧结收缩的各向异性问题。
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