离子铣削装置
摘要:
本发明提供一种可在同一真空腔内进行剖面加工与平面加工双方的离子铣削装置。为实现该目的,提出一种离子铣削装置,其具备在真空腔内配置、且具有平行于与离子束正交的第一轴的倾斜轴的倾斜工作台,其中,离子铣削装置具备驱动机构和切换部,驱动机构具有平行于与第一轴正交的第二轴的旋转轴以及倾斜轴,且使试料旋转或者倾斜,切换部对如下两个状态进行切换,其一是一边使倾斜工作台倾斜,一边使支承台旋转或者往复倾斜,从而照射离子束的状态,其二是使倾斜工作台成为非倾斜状态,并且使支承台往复倾斜,从而照射离子束的状态。
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