发明授权
CN103185638B 宽带偏振光谱仪和光学测量系统
失效 - 权利终止
- 专利标题： 宽带偏振光谱仪和光学测量系统
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申请号： CN201110444985.3申请日： 2011-12-27
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公开(公告)号： CN103185638B公开(公告)日： 2015-09-09
- 发明人: 李国光 , 刘涛 , 赵江艳 , 吴文镜 , 王林梓 , 马铁中 , 夏洋
- 申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人： 中国科学院微电子研究所,北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人： 中国科学院微电子研究所,北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构： 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 刘丽君
- 主分类号： G01J3/447
- IPC分类号： G01J3/447 ; G01J3/02 ; G01N21/25 ; G01B11/06 ; G01B11/24
摘要：
本发明公开一种宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元。本发明还公开了包含该宽带偏振光谱仪的光学测量系统。本发明提供的垂直入射宽带偏振光谱仪不仅可以通过简单的操作进行聚焦，而且可以精确地控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。
公开/授权文献
- CN103185638A 宽带偏振光谱仪和光学测量系统 公开/授权日：2013-07-03