发明授权
- 专利标题: 片盒解锁装置
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申请号: CN201210005670.3申请日: 2012-01-09
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公开(公告)号: CN103199043B公开(公告)日: 2015-12-16
- 发明人: 阮冬 , 王邵玉
- 申请人: 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677
摘要:
本发明公开了一种片盒解锁装置,用于对片盒解锁,其中片盒具有两个锁附孔。片盒解锁装置包括基座、驱动单元、活动件、丝杠、螺母、两个摆动气缸以及两个解锁件。驱动单元设置于基座。活动件可滑动地设置于基座,以接近或远离片盒。丝杠穿设于活动件并连接驱动单元,丝杠具有螺纹。螺母套设于丝杠并连接活动件。驱动单元驱动丝杠转动,丝杠通过螺纹带动螺母与活动件相对于基座滑动。两个摆动气缸分别设置于活动件。两个解锁件分别对应地设置于两个摆动气缸,并对应两个锁附孔。本发明提供的片盒解锁装置,采用一个驱动单元驱动活动件在基座上进行往复运动,对整个装置实现了较大的简化,且能方便地保证装置运动的准确性。
公开/授权文献
- CN103199043A 片盒解锁装置 公开/授权日:2013-07-10
IPC分类: