发明授权
- 专利标题： 具有一体化阶梯状堆叠结构的多层电子结构
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申请号： CN201310068669.X申请日： 2013-03-04
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公开(公告)号： CN103208479B公开(公告)日： 2016-02-10
- 发明人: 卓尔·赫尔维茨
- 申请人： 珠海越亚封装基板技术股份有限公司
- 申请人地址： 广东省珠海市富山工业区虎山村口方正PCB产业园FPC厂房南面一、二楼
- 专利权人： 珠海越亚封装基板技术股份有限公司
- 当前专利权人： 珠海越亚半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省珠海市富山工业区虎山村口方正PCB产业园FPC厂房南面一、二楼
- 代理机构： 北京风雅颂专利代理有限公司
- 代理商 李翔; 李弘
- 优先权： 13/482，099 2012.05.29 US
- 主分类号： H01L23/522
- IPC分类号： H01L23/522 ; H01L21/768
摘要：
一种多层电子支撑结构，包括在X-Y平面中延伸的多个层，所述多个层由包围金属通孔柱的介电材料构成，所述金属通孔柱沿垂直于X-Y平面的Z方向导电，其中穿过所述多个层中至少两个通孔层的堆叠通孔结构包括在相邻通孔层中的至少两个通孔柱，其中在相邻层中的至少两个堆叠通孔柱具有在X-Y平面中的不同尺寸，使得所述堆叠通孔结构成为锥形。
公开/授权文献
- CN103208479A 具有一体化阶梯状堆叠结构的多层电子结构 公开/授权日：2013-07-17
IPC分类:
