薄膜体声波共振器滤波器的制造方法

    公开(公告)号:CN105827213B

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201510901507.9

    申请日:2015-12-08

    Abstract: 一种声波共振器,包括基本水平的压电材料膜,在所述膜的上表面和下表面上分别具有上金属电极和下金属电极,所述膜围绕其周边通过粘附聚合物附着在矩形互连框架的内侧壁上,用于封装的所述框架的侧壁基本垂直于所述膜并且包括在电介质基质中的导电通孔,所述导电通孔在所述侧壁内基本垂直延伸,所述金属电极与所述导电通孔通过在所述膜的上表面上的特征层导电连接,在所述互连框架的顶端和底端连接有上盖和下盖以密封所述声波共振器使其与周围环境隔离。

    薄膜体声波共振器滤波器

    公开(公告)号:CN105763169A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201510901483.7

    申请日:2015-12-08

    Abstract: 一种声波共振器,包括基本水平的压电材料膜,在所述膜的上表面和下表面上分别具有上金属电极和下金属电极,所述膜围绕其周边通过粘附聚合物附着在矩形互连框架的内侧壁上,用于封装的所述框架的侧壁基本垂直于所述膜并且包括在电介质基质中的导电通孔,所述导电通孔在所述侧壁内基本垂直延伸,所述金属电极与所述导电通孔通过在所述膜的上表面上的特征层导电连接,在所述互连框架的上端和下端连接有上盖和下盖以密封所述声波共振器使其与周围环境隔离。

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