柱状晶体电极
摘要:
柱状晶体电极,柱状晶体电极包括晶片、中间电极、四周电极、所述中间电极的竖直高度为L,所述中间电极的水平宽度为D,位于上部的两四周电极水平最短间隔为W,所述中间电极上部到晶片上部最顶端的最短竖直高度为H,最佳柱状晶体电极的设计方法必须满足:W=0.4mm,W/H=(0.4/15)*f,L*D=K*f,K=(2-3)/25,f为晶片的固有频率,f的范围为1-150MHz。本发明结构简单,精度高。
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