发明公开
- 专利标题: 烷氧基氨基硅烷化合物及其应用
- 专利标题(英): Alkoxyaminosilane compounds and applications thereof
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申请号: CN201310051550.1申请日: 2013-01-28
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公开(公告)号: CN103224510A公开(公告)日: 2013-07-31
- 发明人: D·P·斯彭斯 , R·M·皮尔斯泰恩 , 雷新建 , 萧满超 , R·霍 , M·L·奥内尔 , H·钱德拉
- 申请人: 气体产品与化学公司
- 申请人地址: 美国宾夕法尼亚州
- 专利权人: 气体产品与化学公司
- 当前专利权人: 弗萨姆材料美国有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国宾夕法尼亚州
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 吴亦华
- 优先权: 61/591,318 2012.01.27 US; 13/745,102 2013.01.18 US
- 主分类号: C07F7/18
- IPC分类号: C07F7/18 ; C23C16/40
摘要:
本文描述了具有式I的烷氧基氨基硅烷化合物以及用于沉积含硅薄膜的方法和组合物:(R1R2)NSiR3OR4OR5 式(I)其中R1独立地选自直链或支链C1-C10烷基、C2-C12烯基、C2-C12炔基、C4-C10环烷基和C6-C10芳基;R2和R3各自独立地选自氢、直链或支链C1-C10烷基、C3-C12烯基、C3-C12炔基、C4-C10环烷基和C6-C10芳基;且R4和R5各自独立地选自直链或支链C1-C10烷基、C2-C12烯基、C2-C12炔基、C4-C10环烷基和C6-C10芳基。
公开/授权文献
- CN103224510B 烷氧基氨基硅烷化合物及其应用 公开/授权日:2016-08-03