压电陶瓷、其制造方法、压电元件、排液头、超声波马达和清尘器
摘要:
本发明提供具有良好的压电性能和机械强度的钛酸钡压电陶瓷和包括该陶瓷的压电元件。压电陶瓷的制造方法包括:形成含有钛酸钡颗粒的氧化物粉末组成的成型体;烧结该成型体;和烧结后使该成型体的温度降低。烧结包括(A)将该成型体的温度升高到该成型体的收缩过程的温度范围内的第一温度;(B)在(A)后将该成型体的温度升高到该成型体的液相烧结过程的温度范围内的第二温度;(C)在(B)后将该成型体的温度降低到该成型体的收缩过程的温度范围内的第三温度;和(D)在(C)后保持该第三温度。
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