- 专利标题: 压电陶瓷、其制造方法、压电元件、排液头、超声波马达和清尘器
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申请号: CN201180056871.X申请日: 2011-11-18
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公开(公告)号: CN103237774B公开(公告)日: 2016-05-11
- 发明人: 松田坚义 , 斋藤宏 , 古田达雄 , 林润平 , 渡边隆之 , 伊福俊博
- 申请人: 佳能株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 李英
- 优先权: 2010-264223 2010.11.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2011/077277 2011.11.18
- 国际公布: WO2012/070667 EN 2012.05.31
- 进入国家日期: 2013-05-24
- 主分类号: H01L41/187
- IPC分类号: H01L41/187 ; C04B35/468
摘要:
本发明提供具有良好的压电性能和机械强度的钛酸钡压电陶瓷和包括该陶瓷的压电元件。压电陶瓷的制造方法包括:形成含有钛酸钡颗粒的氧化物粉末组成的成型体;烧结该成型体;和烧结后使该成型体的温度降低。烧结包括(A)将该成型体的温度升高到该成型体的收缩过程的温度范围内的第一温度;(B)在(A)后将该成型体的温度升高到该成型体的液相烧结过程的温度范围内的第二温度;(C)在(B)后将该成型体的温度降低到该成型体的收缩过程的温度范围内的第三温度;和(D)在(C)后保持该第三温度。
公开/授权文献
- CN103237774A 压电陶瓷、其制造方法、压电元件、排液头、超声波马达和清尘器 公开/授权日:2013-08-07
IPC分类: