电子束描绘装置及电子束描绘方法
摘要:
一种电子束描绘装置及电子束描绘方法,该电子束描绘装置(100)具有:XY载物台(105),载放试样(216);以及电子镜筒(102),配置有出射电子束(200)的电子枪(201)和具备排列在电子束(200)的轴向上的电极的透镜(202、204、207、210)。在XY载物台(105)和电子镜筒(102)之间设置有屏蔽板(211),该屏蔽板(211)屏蔽电子束(200)向试样(216)照射而产生的反射电子或二次电子。在屏蔽板(211)的正上方配置有改变电子束(200)的焦点位置的静电透镜(210),始终从电压供给单元(135)对静电透镜(210)施加正电压。
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