发明公开
CN103258767A 用于在其加工过程中传送太阳能晶圆或太阳电池的装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于在其加工过程中传送太阳能晶圆或太阳电池的装置
- 专利标题(英): Apparatus for transferring solar wafer or solar cell during fabrication
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申请号: CN201310049196.9申请日: 2013-02-07
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公开(公告)号: CN103258767A公开(公告)日: 2013-08-21
- 发明人: 陈联福 , 屠文革
- 申请人: 先进科技新加坡有限公司
- 申请人地址: 新加坡2义顺7道
- 专利权人: 先进科技新加坡有限公司
- 当前专利权人: 先进科技新加坡有限公司
- 当前专利权人地址: 新加坡2义顺7道
- 代理机构: 北京申翔知识产权代理有限公司
- 代理商 周春发
- 优先权: 13/397,820 2012.02.16 US
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种用于传送太阳能晶圆或电池的装置,该装置包含有:i)旋转马达;ii)夹具,用于通过夹持该太阳能晶圆或电池;以及旋转臂,其连接在旋转马达和夹具之间,该旋转臂被旋转马达在第一旋转方向上驱动一传送角度,以在不同的位置之间传送该太阳能晶圆或电池;尤其是该装置还包含有角度补偿设备,其被配置来驱动该夹具在第二旋转方向上旋转通过与旋转臂相同的传送角度,该第二旋转方向和第一旋转方向相反,以在旋转臂的旋转期间确保太阳能晶圆或电池的角度方位保持不变。
公开/授权文献
- CN103258767B 用于在其加工过程中传送太阳能晶圆或太阳电池的装置 公开/授权日:2016-04-27
IPC分类: