发明公开
- 专利标题: 位移调节装置
- 专利标题(英): Displacement adjusting device
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申请号: CN201310242020.5申请日: 2013-06-18
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公开(公告)号: CN103278910A公开(公告)日: 2013-09-04
- 发明人: 黄磊 , 巩马理 , 闫平 , 薛峤 , 李腾浩 , 柳强 , 冯泽心 , 康少男 , 孙冶 , 闫海波
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 宋合成; 黄德海
- 主分类号: G02B7/185
- IPC分类号: G02B7/185
摘要:
本发明公开了一种位移调节装置,包括:支架、导向组件、微调组件、微位移计和驱动组件。具体而言,所述导向组件设在所述支架上;所述微调组件沿第一直线方向和第二直线方向可移动地设在所述导向组件上;所述微位移计沿第三直线方向可移动地设在所述微调组件上,其中所述第一直线方向,所述第二直线方向及所述第三直线方向相互垂直;用于驱动所述微调组件移动的驱动组件,所述微调组件分别与所述导向组件和所述微调组件相连。根据本发明实施例的位移调节装置,可应用于快速、高效、精密检测变形镜各致动点的微位移量,从而达到较高的应力调节精度。
公开/授权文献
- CN103278910B 位移调节装置 公开/授权日:2015-07-29