多轴支撑气浮平台的测量控制系统
Abstract:
多轴支撑气浮平台的测量控制系统,属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限,应用范围狭窄的问题。它包括负载反馈单元、执行单元、位置测量单元、安全保护单元、控制器、旋转电机和直线光源,负载反馈单元包括M个压力传感器和四个差动传感器;执行单元包括M个伺服音圈电机和M个伺服音圈电机驱动器;位置测量单元包括平面光栅、M个直线光栅、线阵CCD、倾角传感器、M个电子水平仪和室内GPS;安全保护单元包括2M个接近传感器和M个温度传感器,线阵CCD由不少于六个CCD组成。本发明用于气浮平台的测量控制。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0