基于频率选择的精密运动平台运动轨迹规划系统及方法

    公开(公告)号:CN116909210B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202310860403.2

    申请日:2023-07-13

    Abstract: 基于频率选择的精密运动平台运动轨迹规划系统及方法,属于精密运动平台技术领域。轨迹生成器输出参考S曲线;参考S曲线经柔性系统获得系统输出,柔性系统的共振频率以及系统输出的残余振荡信息共同提供给轨迹生成器以修正参考S曲线。方法如下:确定参考S曲线的阶次;设计含参S型运动轨迹并获得轨迹含参零点;确定S型运动轨迹的参数;判定参数是否合理;判定残余振荡是否满足要求,确定运动轨迹设计标准。本发明解决了传统精密运动平台运动轨迹规划参数设计仅着眼于运动轨迹的几何光顺忽略了被控对象的柔性特性的问题,且不需要添加额外的减震装置,减少了整体重量,降低了经济成本。

    一种基于峰值因子最小化的多频正弦信号生成器

    公开(公告)号:CN117111680A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202311148082.X

    申请日:2023-09-06

    Abstract: 一种基于峰值因子最小化的多频正弦信号生成器,涉及多频正弦信号生成技术,是为了解决现有随机选择初始相位导致多频正弦信号的高峰值问题,它包括多频正弦信号生成器和基于峰值因子最小化的多频正弦信号相位估计器,所述多频正弦信号生成器用于生成所述正弦激励信号x(n);所述基于峰值因子最小化的多频正弦信号相位估计器内置在所述多频正弦信号生成器中,用于对所述多频正弦信号生成器生成的所述多频正弦信号进行相位估计。本发明适用于实际工程应用中。

    超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN116819902A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310825107.9

    申请日:2023-07-06

    Abstract: 超精密光刻装备六自由度分散式复合控制系统及控制方法,涉及超精密光刻装备控制系统及方法。控制系统包括运动轨迹生成部分、反馈控制部分、前馈控制部分、解耦控制部分、六自由度运动台与位置测量部分,解耦控制部分包括静态解耦部分和动态解耦部分,静态解耦部分由增益规划矩阵、增益平衡矩阵和科氏力补偿矢量组成,动态解耦部分由动态解耦矩阵构成。反馈与前馈控制器设计简单,通过静动态结合的方式减少各自由度之间的串扰影响,提高控制精度。

    一种基于事件触发的指定时间高精度控制方法

    公开(公告)号:CN116382154A

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN202310216700.3

    申请日:2023-03-08

    Abstract: 本发明公开了一种基于事件触发的指定时间高精度控制方法,所述方法包括如下步骤:步骤1:设计基于参量Lyapunov方程的指定时间高精度控制器;步骤2:设计基于参量Lyapunov方程的事件触发机制去决定控制器的更新时间ti;步骤3:根据步骤2中设计的事件触发机制,计算得到最小触发时间间隔的表达式。该方法不仅可以在任意的指定时间实现系统的高精度控制目标,而且减少了系统执行器的更新次数,使得系统的执行器损耗极大的减少,具有重要的工程应用价值。

    一种多自由度精密运动台动态解耦控制方法

    公开(公告)号:CN115933400A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211651456.5

    申请日:2022-12-21

    Abstract: 一种多自由度精密运动台动态解耦控制方法,涉及一种精密运动台解耦控制方法。定义动态解耦控制器并且元素参数化为FIR滤波器形式,将名义解耦控制方法作用到实际系统测量实际位置信号和名义解耦控制器的输出,计算得到虚拟控制量,通过优化指标函数得到动态解耦控制器的待优化系数的估计值,从而实现动态解耦控制。可以有效实现中高频段的解耦,提高解耦精度,并且简化了算法流程,易于工程实现。

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