多轴支撑气浮平台的调平方法
摘要:
多轴支撑气浮平台的调平方法,属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为了解决现有支撑平台的调平状态受限,应用范围狭窄的问题。它通过上位机将当前的工作模式、控制命令和误差参数通过以太网发送给控制器;控制器每200μs发出伺服周期开始信号,启动平动状态工作模式或静止状态工作模式;控制器对其读取的所有反馈信号进行数据融合处理,获得支撑腿的调节量,然后控制器通过驱动伺服音圈电机驱动器对伺服音圈电机的驱动信号进行修正,然后再判断承载平台是否静止及水平度是否达到设定精度范围之内,若是,当前伺服周期调平结束,等待下一个伺服周期,直至结束。本发明用于气浮平台的调平。
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