- 专利标题: 基于混合晶向SOI及沟道应力的器件系统结构及制备方法
- 专利标题(英): Device system structure and preparing method based on mixed crystal orientation SOI and channel stress
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申请号: CN201210046230.2申请日: 2012-02-27
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公开(公告)号: CN103295964A公开(公告)日: 2013-09-11
- 发明人: 卞剑涛 , 狄增峰 , 张苗
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 李仪萍
- 主分类号: H01L21/8238
- IPC分类号: H01L21/8238 ; H01L21/762 ; H01L21/336 ; H01L29/06 ; H01L29/04 ; H01L29/10
摘要:
本发明提供一种基于混合晶向SOI及沟道应力的器件系统结构及制备方法。根据本发明的制备方法,首先制备(100)/(110)全局混晶SOI结构;接着,在全局混晶SOI结构上依次外延弛豫的锗硅层和应变硅层后,再形成(110)外延图形窗口,并在(110)外延图形窗口处外延(110)硅层及非弛豫的锗硅层后,使图形化混晶SOI结构表面平坦化,接着再形成隔离器件的隔离结构,最后在(110)衬底部分制备P型高压器件结构、在(100)衬底部分制备N型高压器件结构和/或低压器件结构,由此可有效提高各器件的载流子迁移率,改善高压器件的Rdson,提高各器件性能,有利于进一步提高集成度、降低功耗。
公开/授权文献
- CN103295964B 基于混合晶向SOI及沟道应力的器件系统结构及制备方法 公开/授权日:2014-12-10
IPC分类: