发明公开
- 专利标题: 一种用于硅芯片间互连的冗余互连结构
- 专利标题(英): Redundancy interconnection structure for interconnection among silicon chips
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申请号: CN201210046598.9申请日: 2012-02-27
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公开(公告)号: CN103296005A公开(公告)日: 2013-09-11
- 发明人: 甘正浩 , 徐依协
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京市磐华律师事务所
- 代理商 董巍; 顾珊
- 主分类号: H01L23/525
- IPC分类号: H01L23/525
摘要:
本发明提供用于硅芯片间互连的冗余互连结构,包括:多个主互连通道,其下端连接到通过焊点与焊球连接的所述硅芯片下表面的焊盘,上端连接到与所述硅芯片上表面的焊盘连接的金属互连线;多个冗余互连通道,所述多个冗余互连通道中的每个形成于所述多个主互连通道中的每个的旁边;多个反熔丝元件,所述多个反熔丝元件中的每个形成于所述多个主互连通道中的每个的上端与所述多个冗余互连通道中的每个的上端之间的所述金属互连线中;多个熔丝元件,所述多个熔丝元件中的每个形成于所述多个主互连通道中的每个的下端与连接所述硅芯片下表面的焊盘和所述焊球的焊点之间的所述焊盘中。根据本发明,可以简化电路结构,更好地与现有半导体制造工艺相兼容。
公开/授权文献
- CN103296005B 一种用于硅芯片间互连的冗余互连结构 公开/授权日:2015-11-25
IPC分类: