发明公开
- 专利标题: 相变存储器及其制造方法
- 专利标题(英): Phase change memory and manufacturing method thereof
-
申请号: CN201210054246.8申请日: 2012-03-02
-
公开(公告)号: CN103296050A公开(公告)日: 2013-09-11
- 发明人: 李莹 , 吴关平 , 任佳栋
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 骆苏华
- 主分类号: H01L27/24
- IPC分类号: H01L27/24 ; G11C13/00
摘要:
一种相变存储器及其制造方法,所述制造方法包括:形成半导体基底;在半导体基底上形成第一介质层;图形化第一介质层,形成与浅沟槽隔离区平行条形介质层,条形介质层之间形成露出部分选通二极管的开口;在条形介质层上、开口的侧壁上以及开口的底部覆盖导电层;图形化导电层,使位于开口底部的剩余导电层至少露出其下方的浅沟槽隔离区,还使剩余导电层至少露出深沟槽隔离区;向开口中填充介质材料,直至填满开口,形成第二介质层;通过平坦化工艺去除条形介质层上的导电层,使第一介质层、第二介质层和开口侧壁上的导电层齐平;在开口侧壁上的导电层上形成相变材料层。本发明可以简化相变存储器的结构和制造工艺。
公开/授权文献
- CN103296050B 相变存储器及其制造方法 公开/授权日:2015-10-14
IPC分类: