相变存储器及其制造方法
摘要:
一种相变存储器及其制造方法,所述制造方法包括:形成半导体基底;在半导体基底上形成第一介质层;图形化第一介质层,形成与浅沟槽隔离区平行条形介质层,条形介质层之间形成露出部分选通二极管的开口;在条形介质层上、开口的侧壁上以及开口的底部覆盖导电层;图形化导电层,使位于开口底部的剩余导电层至少露出其下方的浅沟槽隔离区,还使剩余导电层至少露出深沟槽隔离区;向开口中填充介质材料,直至填满开口,形成第二介质层;通过平坦化工艺去除条形介质层上的导电层,使第一介质层、第二介质层和开口侧壁上的导电层齐平;在开口侧壁上的导电层上形成相变材料层。本发明可以简化相变存储器的结构和制造工艺。
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