气液混合装置以及清洗设备
摘要:
本发明涉及显示装置制备工艺技术领域,具体涉及一种清洗设备的气液混合装置以及包括该气液混合装置的清洗设备。一种清洗设备的气液混合装置,包括混合腔室以及分别连通至所述混合腔室的高温气体通道以及高温液体通道,所述高温气体通道包括至少两个输出流量不同的高温气体通道。本发明所提供的清洗设备的气液混合装置,通过设置不同流量的高温气体通道,利用流量较大的高温气体通道实现快速输入高温气体,利用流量较小的第二高温气体通道精确控制混合到高温液体中的高温气体的比例。
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