- 专利标题: 一种以石墨烯作为势垒层的MTJ磁场传感器
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申请号: CN201310247035.0申请日: 2013-06-21
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公开(公告)号: CN103323796B公开(公告)日: 2015-07-29
- 发明人: 潘孟春 , 田武刚 , 胡靖华 , 胡佳飞 , 赵建强
- 申请人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 申请人地址: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院
- 专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 赵洪; 周长清
- 主分类号: G01R33/09
- IPC分类号: G01R33/09
摘要:
本发明公开了一种以石墨烯作为势垒层的MTJ磁场传感器,包括两个磁力线聚集器、用来构成惠斯通测量电桥的四个MTJ磁敏感元件、四个电极及基底,两个磁力线聚集器呈对称状布置,两个所述MTJ磁敏感元件位于两个磁力线聚集器之间的间隙处,另外两个所述MTJ磁敏感元件分别位于两个磁力线聚集器的底部,每个所述MTJ磁敏感元件均包括由下至上依次堆叠排列的基底、底电极层、第一缓冲层、自由铁磁层、石墨烯势垒层、被钉扎铁磁层、钉扎层、第二缓冲层及顶电极层。本发明具有结构简单紧凑、体积小、成本低廉、制作方便、具有高分辨力等优点。
公开/授权文献
- CN103323796A 一种以石墨烯作为势垒层的MTJ磁场传感器 公开/授权日:2013-09-25