铁氧体薄膜形成用组合物和铁氧体薄膜及其形成方法
摘要:
本发明的课题在于提供一种铁氧体薄膜形成用组合物和利用该组合物的铁氧体薄膜的形成方法及以该方法形成的铁氧体薄膜,所述铁氧体薄膜为用于通过溶胶-凝胶法形成铁氧体薄膜的组合物,其能够形成较薄且均匀的膜厚的铁氧体薄膜,且长期保存稳定性优异。该铁氧体薄膜形成用组合物,其为用于通过溶胶-凝胶法形成NiZn铁氧体、CuZn铁氧体、NiCuZn铁氧体薄膜的组合物,上述组合物通过将金属原料溶解于包含乙腈的溶剂而成,将上述组合物设为100质量%时的乙腈的比例为30~60质量%。
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