发明公开
- 专利标题: 铁氧体薄膜形成用组合物和铁氧体薄膜及其形成方法
- 专利标题(英): Ferrite thin film-forming composition material, ferrite thin film, and method of forming ferrite thin film
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申请号: CN201310088140.4申请日: 2013-03-19
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公开(公告)号: CN103360044A公开(公告)日: 2013-10-23
- 发明人: 土井利浩 , 樱井英章 , 中村贤蔵 , 五十岚和则 , 曽山信幸
- 申请人: 三菱综合材料株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 三菱综合材料株式会社
- 当前专利权人: 三菱综合材料株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 康泉; 王珍仙
- 优先权: 2012-076981 2012.03.29 JP
- 主分类号: C04B35/26
- IPC分类号: C04B35/26 ; C04B35/624
摘要:
本发明的课题在于提供一种铁氧体薄膜形成用组合物和利用该组合物的铁氧体薄膜的形成方法及以该方法形成的铁氧体薄膜,所述铁氧体薄膜为用于通过溶胶-凝胶法形成铁氧体薄膜的组合物,其能够形成较薄且均匀的膜厚的铁氧体薄膜,且长期保存稳定性优异。该铁氧体薄膜形成用组合物,其为用于通过溶胶-凝胶法形成NiZn铁氧体、CuZn铁氧体、NiCuZn铁氧体薄膜的组合物,上述组合物通过将金属原料溶解于包含乙腈的溶剂而成,将上述组合物设为100质量%时的乙腈的比例为30~60质量%。