发明公开
CN103367463A 一种太赫兹横向肖特基二极管及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种太赫兹横向肖特基二极管及其制作方法
- 专利标题(英): Terahertz transverse Schottky diode and manufacturing method thereof
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申请号: CN201310310173.9申请日: 2013-07-23
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公开(公告)号: CN103367463A公开(公告)日: 2013-10-23
- 发明人: 唐海林 , 李倩 , 熊永忠 , 杜亦佳 , 陈樟
- 申请人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 申请人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 专利权人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 当前专利权人: 中国工程物理研究院电子工程研究所
- 当前专利权人地址: 四川省绵阳市绵山路64号
- 代理机构: 成都顶峰专利事务所
- 代理商 杨俊华
- 主分类号: H01L29/872
- IPC分类号: H01L29/872 ; H01L29/06 ; H01L29/36 ; H01L21/329
摘要:
本发明公开了一种太赫兹横向肖特基二极管,包括半绝缘层、有源区N+层、有源区N-层、钝化层、欧姆接触区、肖特基接触区、阴极和阳极。其主要制作方法为:刻蚀有源区台阶后,依次离子注入Si形成有源区N+层和有源区N-层,退火后淀积钝化层,在钝化层的保护下光刻欧姆接触区,然后再通过电子束光刻技术光刻肖特基接触区,淀积接触金属后,最后光刻阴极和阳极。本发明采用横向二极管结构,不仅制作工艺简单,精确控制晶体管的尺寸,有效降低阴阳极之间的寄生电容,提高二极管工作的截止频率和可靠性,而且将所有寄生参量相互隔离,在保证可靠性的基础上降低了寄生参量间的关联性,使器件的设计更加灵活,可用于实现太赫兹频段信号的混频或倍频。
公开/授权文献
- CN103367463B 一种太赫兹横向肖特基二极管及其制作方法 公开/授权日:2015-12-09
IPC分类: