一种太赫兹横向肖特基二极管及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种太赫兹横向肖特基二极管,包括半绝缘层、有源区N+层、有源区N-层、钝化层、欧姆接触区、肖特基接触区、阴极和阳极。其主要制作方法为:刻蚀有源区台阶后,依次离子注入Si形成有源区N+层和有源区N-层,退火后淀积钝化层,在钝化层的保护下光刻欧姆接触区,然后再通过电子束光刻技术光刻肖特基接触区,淀积接触金属后,最后光刻阴极和阳极。本发明采用横向二极管结构,不仅制作工艺简单,精确控制晶体管的尺寸,有效降低阴阳极之间的寄生电容,提高二极管工作的截止频率和可靠性,而且将所有寄生参量相互隔离,在保证可靠性的基础上降低了寄生参量间的关联性,使器件的设计更加灵活,可用于实现太赫兹频段信号的混频或倍频。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/86 ..只能通过对一个或多个通有待整流,放大、振荡或切换的电流的电极供给电流的变化或施加电位的变化方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/861 ...二极管
H01L29/872 ....肖特基二极管
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