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公开(公告)号：CN108599617A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810283770.X
申请日：2018-04-02
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC分类号： H02N2/12
摘要： 本发明公开一种用于超声微马达的预紧力加载结构，包括定子、转子和底座，所述底座的底端中央固设有永磁体，所述底座顶部中央的圆环柱支撑所述定子的振动平面，且所述圆环柱的顶端设置有环形凹陷部，所述转子设置于所述定子上方，且所述转子的材料为软铁、镍或铁镍合金。本发明用于超声微马达的预紧力加载结构采用磁力吸附的方式实现超声微马达中定子和转子间预紧力的精确加载，能够满足超声微马达中定子和转子间微小预紧力的需要。
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公开(公告)号：CN108448929A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810318924.4
申请日：2018-04-11
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC分类号： H02N2/16
摘要： 本发明公开一种凸台型行波微马达转子，包括圆环形底座，所述圆环形底座靠近行波微马达的环形定子的一面上设置有若干个周向均匀排列的凸台，所述环形定子与转子只在所述凸台处发生接触。本发明凸台型行波微马达转子上的凸台正对环形定子的行波波峰，能够显著提高定转子的有效接触区域所占比例，从而增强转子的转动能力，并使转动过程更稳定。
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公开(公告)号：CN107369756A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710604192.0
申请日：2017-07-24
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC分类号： H01L41/08
CPC分类号： H01L41/08
摘要： 本发明提供了一种全集成压电驱动装置，包括PZT驱动层和SOI支撑平台，所述PZT驱动层包括底电极，所述底电极与所述SOI支撑平台连接；所述底电极通过金-铟共晶键合形成。本发明提供的全集成压电驱动装置结构简单，通过金-铟共晶键合形成PZT驱动层的底电极，并通过所述底电极与SOI支撑平台连接，避免了采用环氧胶装配方式导致的精度差、可重复性低的问题，提升了全集成压电驱动装置的可靠性。
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公开(公告)号：CN106949955A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710253867.1
申请日：2017-04-18
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC分类号： G01H9/00
CPC分类号： G01H9/00
摘要： 本发明公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本发明公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN106949955B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN201710253867.1
申请日：2017-04-18
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 本发明公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本发明公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN111953228A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010810780.1
申请日：2020-08-13
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
摘要： 本发明公开一种无梁型行波马达微驱动器，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连。本发明的无梁型行波马达微驱动器，定子直接与固定支撑相连，省去了梁结构，消除了梁结构带来的影响，且定子直接与固定支撑相连，使定子振膜上下表面无其他约束，直接与空气接触，有利于实现微驱动器振动位移提升，从而提高驱动能力。
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公开(公告)号：CN108413878A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201810217398.2
申请日：2018-03-16
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明公开了一种光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统。光学位移阈值检测方法包括：获取外置反射镜与激光器之间的当前距离、所述激光器发射的总功率以及光电二极管的半径；按照移动距离阈值移动所述外置反射镜，获取所述外置反射镜与所述激光器之间的第一变换距离；根据所述半径确定所述光电二极管接收到的激光面积；根据所述总功率确定所述光电二极管接收到的一束激光的光强；根据所述激光面积以及所述一束激光的光强确定激光总光强；根据所述激光总光强确定光学位移阈值；所述光学位移阈值为光学位移极大值。采用本发明所提供的光学位移阈值传感器、光学位移阈值检测方法及系统能够提高光学位移阈值的检测精度。
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公开(公告)号：CN108317233A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810312357.1
申请日：2018-04-09
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
摘要： 本发明公开一种应用于MEMS微纳加工的一体化无装配多层微齿轮结构，包括生根轴承、第一阶梯型齿轮定位结构、第二阶梯型齿轮定位结构和多层齿轮层，所述生根轴承下端面固定连接在一齿轮基底上，所述第二阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的下端，所述第二阶梯型齿轮定位结构固定连接在所述齿轮基底上，所述第一阶梯型齿轮定位结构设置于所述生根轴承的上端，所述多层齿轮层套设在所述生根轴承的中部。本发明的多层微齿轮结构为一体化结构，多层微齿轮结构的装配精度一致性更好，更适于批量化生产，齿轮结构连接强度更高。
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公开(公告)号：CN104993193B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201510448997.1
申请日：2015-07-28
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
发明人： 杜亦佳
摘要： 本发明公开了一种混合型MEMS移相器，解决了现有技术中移相器芯片面积大、相移精度差、工艺容差性低等问题。混合型MEMS移相器包括基底，设置于基底底部的微带传输线接地线，相位延迟网络和相位参考网络，用于连接相位延迟网络和相位参考网络的功率分配器；功率分配器通过单刀单掷开关或者单刀双掷开关与相位延迟网络和相位参考网络连接；所述相位参考网络和相位延迟网络由一个或者多个MEMS可变电容和两个分别与MEMS可变电容两侧连接并用于连接所述并联型MEMS开关的连接传输线构成；所述单刀单掷开关或者单刀双掷开关为并联型MEMS开关。本发明将开关线型移相器和分布式相位延迟网络结构结合，具有参考网络和延迟网络隔离度高、相移量小范围内模拟可调的优势。
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公开(公告)号：CN111952433B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202010810784.X
申请日：2020-08-13
申请人： 中国工程物理研究院电子工程研究所
摘要： 本发明公开一种压电行波微执行器的孤极结构，包括定子和固定支撑，定子与固定支撑相连；定子包括依次叠加设置的驱动电极、压电材料层、下电极和振膜支撑层，驱动电极位于压电材料层的顶部，驱动电极的外边沿与固定支撑之间具有间隙，驱动电极的外边沿与固定支撑之间设置孤极，孤极设置于压电材料层的顶部，孤极能够对压电信号进行检测和分析。本发明的压电行波微执行器的孤极结构，在驱动电极与固定支撑之间设置孤极，孤极可用于行波状态的原位在线检测，检测信号能准确反应定子表面行波状态，孤极设置于驱动电极与固定支撑之间，对驱动信号不会造成影响，因而不会带来执行器驱动力能力损失。
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