混合集成的部件和用于其制造的方法
摘要:
用于实现混合集成的部件的措施,其电容器装置可实现高灵敏度的信号检测和MEMS构件的微机械结构的灵敏控制。混合集成的部件包括延伸在MEMS衬底的整个厚度上的MEMS构件(20),微机械结构的至少一个结构元件可偏转并且与包括可运动的电极(51)和固定的电极(52)的至少一个电容器装置作用连接;还包括具有电容器装置的电极(52)的ASIC构件(10)。MEMS构件装配在ASIC构件上,在微机械结构和ASIC构件的表面之间存在间隙(21)。从ASIC构件的层结构中脱离出电容器装置的至少一个电极(51)并且替代地机械和电地连接在MEMS构件的可偏转的结构元件(23)上,从而电极(51)作为电容器装置的运动的电极起作用。
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