发明公开
- 专利标题: 混合集成的部件和用于其制造的方法
- 专利标题(英): Hybrid integrated component and method for the manufacture thereof
-
申请号: CN201310146970.8申请日: 2013-04-25
-
公开(公告)号: CN103373697A公开(公告)日: 2013-10-30
- 发明人: J·克拉森
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 曾立
- 优先权: 102012206854.6 2012.04.25 DE
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; B81B3/00 ; B81C1/00 ; H01L25/04
摘要:
用于实现混合集成的部件的措施,其电容器装置可实现高灵敏度的信号检测和MEMS构件的微机械结构的灵敏控制。混合集成的部件包括延伸在MEMS衬底的整个厚度上的MEMS构件(20),微机械结构的至少一个结构元件可偏转并且与包括可运动的电极(51)和固定的电极(52)的至少一个电容器装置作用连接;还包括具有电容器装置的电极(52)的ASIC构件(10)。MEMS构件装配在ASIC构件上,在微机械结构和ASIC构件的表面之间存在间隙(21)。从ASIC构件的层结构中脱离出电容器装置的至少一个电极(51)并且替代地机械和电地连接在MEMS构件的可偏转的结构元件(23)上,从而电极(51)作为电容器装置的运动的电极起作用。
公开/授权文献
- CN103373697B 混合集成的部件和用于其制造的方法 公开/授权日:2017-04-12