发明公开
CN103376185A 微制造的热丝真空传感器
失效 - 权利终止
- 专利标题： 微制造的热丝真空传感器
- 专利标题（英）： Microfabricated hot wire vacuum sensor
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申请号： CN201310268050.3申请日： 2005-03-18
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公开(公告)号： CN103376185A公开(公告)日： 2013-10-30
- 发明人: L·阿拉纳 , Y·L·邹 , J·赫克
- 申请人： 英特尔公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 英特尔公司
- 当前专利权人： 英特尔公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 亓云
- 优先权： 10/807,836 2004.03.24 US
- 分案原申请号： 2005800061860 2005.03.18
- 主分类号： G01L21/12
- IPC分类号： G01L21/12
摘要：
可使用半导体集成电路工艺形成微制造真空传感器。所述传感器可与微制造元件一并形成在外壳内。随后就可使用该传感器测量外壳内的压力。
公开/授权文献
- CN103376185B 微制造的热丝真空传感器 公开/授权日：2016-08-24