具有减薄的表面的嵌入式桥架构
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117121182A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202280023668.0

    申请日:2022-02-18

    申请人: 英特尔公司

    IPC分类号: H01L23/00

    摘要: 本文公开的实施例包括具有嵌入式桥和减薄的表面的多管芯封装。在示例中,多管芯互连结构包括:封装衬底,所述封装衬底具有腔。桥管芯在所述封装衬底的所述腔中,所述桥管芯包括硅。电介质材料在所述封装衬底之上,在所述桥管芯之上,并且在所述腔中。多个导电接合焊盘在所述电介质材料上。所述多管芯互连结构还包括多个导电柱,所述多个导电柱中的单独的导电柱在所述多个导电接合焊盘中的对应的导电接合焊盘上。阻焊剂材料在所述电介质材料上,在所述多个导电接合焊盘的暴露的部分上,并且横向围绕所述多个导电柱。所述多个导电柱具有在所述阻焊剂材料的顶表面上方的顶表面。