发明授权
CN103394484B 多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺
失效 - 权利终止
- 专利标题: 多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺
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申请号: CN201310332052.4申请日: 2013-08-02
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公开(公告)号: CN103394484B公开(公告)日: 2016-08-10
- 发明人: 章圆圆 , 陈培良 , 符黎明
- 申请人: 常州时创能源科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市溧阳市溧城镇芜申路168号C栋
- 专利权人: 常州时创能源科技有限公司
- 当前专利权人: 常州时创能源股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市溧阳市溧城镇芜申路168号C栋
- 代理机构: 南京汇盛专利商标事务所
- 代理商 陈扬
- 主分类号: B08B3/08
- IPC分类号: B08B3/08 ; H01L31/18 ; H01L21/02 ; C30B33/10
摘要:
本发明公开了一种多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺,对酸制绒后的多晶硅片,用含氧化剂的酸溶液或碱溶液进行清洗。本发明提供的清洗工艺,优化硅片表面结构,去除硅片表面残留成分,既能清洗掉硅片制绒后表面残留的制绒液,也能去除多孔硅,从而大大减少硅片表面的复合中心,提升短路电流和开压,达到提高太阳能电池光电转换效率的效果。采用这种清洗工艺后,可以去除酸制绒后产生的多孔硅,减少绒面中的尖锐结构,硅片外观色泽均匀,不同晶粒间的差异小,不会导致多晶化程度加强。此外,本发明的工艺简单易操作,与现行工艺兼容,重复性好。
公开/授权文献
- CN103394484A 多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺 公开/授权日:2013-11-20
IPC分类: