带旋转保温钨屏的蓝宝石炉
摘要:
本发明涉及晶体生长炉领域,旨在提供带旋转保温钨屏的蓝宝石炉。该蓝宝石炉包括保温钨屏、大齿轮、小齿轮、轴承、传输轴、磁流体、电机和减速机,保温钨屏设置在大齿轮上,大齿轮安装在轴承上,轴承固定在蓝宝石炉的炉底板上,电机与减速机相连接,减速机与传输轴连接,传输轴通过磁流体从蓝宝石炉的外部进入蓝宝石炉的腔体内部,传输轴在蓝宝石炉的腔体内部与小齿轮固定,小齿轮与大齿轮连接形成齿轮传动。在拉晶的过程中,保温钨屏通过电机带动进行低速缓慢的旋转,使腔体内的温度分布更加均匀,且能够更有效的形成拉晶中需要的温度梯度。本发明有利于拉晶过程中的引晶工序,能够提高拉晶的速率以及有助高品质蓝宝石晶体的生成。
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