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公开(公告)号：CN104213187A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410414824.3
申请日：2014-08-21
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B15/20
摘要： 本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，旨在提供一种真空检测保护装置。该种真空检测保护装置包括触动开关和金属波纹管，触动开关和单晶炉的开路控制线路或者控制器连接，金属波纹管的一侧安装在副真空系统的压力检测口上，副真空系统与单晶炉的炉室相通，金属波纹管的另一侧用于和触动开关接触连通，且保证：当单晶炉内的压力为正常状态时，金属波纹管端面与触动开关接触并触发触动开关；当单晶炉内的压力为负压状态时，金属波纹管压缩，进而金属波纹管端面与触动开关脱离接触。本发明触发方式为机械式触发电子元器件，安全系数高，使用寿命长，结构简单，能够在低成本的情况下实现最理想的功能。
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公开(公告)号：CN104213186A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410414496.7
申请日：2014-08-21
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及直拉单晶炉设备，旨在提供一种用于单晶硅生长炉的掺杂机构。该种用于单晶硅生长炉的掺杂机构包括推动轴组件、真空腔体、磁钢、磁钢安装套、装料勺和操作杆，用于向单晶硅生长炉的石英坩埚内掺杂物质，石英坩埚设置在隔离阀座内，隔离阀座的内部是真空区域，隔离阀座设有一个连通口，真空腔体与隔离阀座的连通口密封连接，真空腔体的内部是真空区域；装料勺的末端与推动轴组件通过螺纹连接，并通过直线运动和旋转运动实现向石英坩埚内投放物质。本发明通过操作杆控制，利用磁力作用实现直线运动和旋转运动，从而将事先储存在装料勺里的掺杂物质投入石英坩埚中，能够在单晶炉拉制过程中达到所需元素掺杂的目的。
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公开(公告)号：CN103643285A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201310643320.4
申请日：2013-12-03
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备，旨在提供用于单晶炉的外部装料机构。该用于单晶炉的外部装料机构包括石英坩埚、真空吸盘、手动真空阀、真空表、密封圈和真空泵，真空吸盘上设有至少两个气咀，分别连接有手动真空阀和真空表，手动真空阀通过气咀与真空泵连接，真空吸盘通过密封圈和石英坩埚密封连接。本发明能在拉晶的任何时候将多晶硅料装入石英坩埚内，不需要等待擦炉完毕，再将石英坩埚先放入热场内再进行。使装料过程由全人工转变为机械化，节约了装料的时间，使操作更简单、便捷，同时也避免了装料过程中多晶硅原料碎屑掉入热场内带来必要的损失。
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公开(公告)号：CN104213187B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201410414824.3
申请日：2014-08-21
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B15/20
摘要： 本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，旨在提供一种真空检测保护装置。该种真空检测保护装置包括触动开关和金属波纹管，触动开关和单晶炉的开路控制线路或者控制器连接，金属波纹管的一侧安装在副真空系统的压力检测口上，副真空系统与单晶炉的炉室相通，金属波纹管的另一侧用于和触动开关接触连通，且保证：当单晶炉内的压力为正常状态时，金属波纹管端面与触动开关接触并触发触动开关；当单晶炉内的压力为负压状态时，金属波纹管压缩，进而金属波纹管端面与触动开关脱离接触。本发明触发方式为机械式触发电子元器件，安全系数高，使用寿命长，结构简单，能够在低成本的情况下实现最理想的功能。
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公开(公告)号：CN102817070A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210285241.6
申请日：2012-08-10
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B15/02
摘要： 本发明涉及落料机构，旨在提供一种用于单晶炉外部复投料装置的落料机构。该机构包括玻璃漏斗，在玻璃漏斗的内部设有一根竖直的转动轴，其轴套与覆盖于玻璃漏斗上的固定板下表面固定连接；一根输出轴水平贯穿玻璃漏斗的侧壁，其一端接传动单元而另一端设尼龙锥齿轮；所述转动轴的底端设有尼龙锥齿轮，输出轴末端的尼龙锥齿轮与转动轴底端的尼龙锥齿轮是相互配合的；在转动轴上固定设置叶轮，其下方设落料盘；落料盘套设于转动轴上且不随转动轴转动，并通过拉杆固定于固定板上。本发明通过操作落料机构，将料仓内的硅料均匀的抛洒至外部复投料装置的管道中，最后投入单晶炉内。在整个落料过程中，不会对多晶硅原料造成污染。
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公开(公告)号：CN104213189A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410414672.7
申请日：2014-08-21
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种多晶铸锭炉自动测长晶装置。该种多晶铸锭炉自动测长晶装置包括石英玻璃棒、拉线传感器、气缸和波纹管，石英玻璃棒的一端伸入多晶铸锭炉的内部，另一端设置在波纹管内，并且固定在石英玻璃棒夹上，气缸通过波纹管支架驱动波纹管上下运动，进而驱动石英玻璃棒和拉线传感器上的拉绳上下运动；拉线传感器用于将通过拉绳上下运动测得的数据，转换为模拟信号传送到外部，实现对测得的数据进行显示并记录。本发明采用全自动测量方式，不但能减轻测量人员的劳动强度，避免了人工读数的误差，同时数据由控制模块直接读取记录，方便后续分析，提高了测量的准确度和测量效率。
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公开(公告)号：CN103397375A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310331465.0
申请日：2013-07-31
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供带旋转保温钨屏的蓝宝石炉。该蓝宝石炉包括保温钨屏、大齿轮、小齿轮、轴承、传输轴、磁流体、电机和减速机，保温钨屏设置在大齿轮上，大齿轮安装在轴承上，轴承固定在蓝宝石炉的炉底板上，电机与减速机相连接，减速机与传输轴连接，传输轴通过磁流体从蓝宝石炉的外部进入蓝宝石炉的腔体内部，传输轴在蓝宝石炉的腔体内部与小齿轮固定，小齿轮与大齿轮连接形成齿轮传动。在拉晶的过程中，保温钨屏通过电机带动进行低速缓慢的旋转，使腔体内的温度分布更加均匀，且能够更有效的形成拉晶中需要的温度梯度。本发明有利于拉晶过程中的引晶工序，能够提高拉晶的速率以及有助高品质蓝宝石晶体的生成。
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公开(公告)号：CN103397375B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201310331465.0
申请日：2013-07-31
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供带旋转保温钨屏的蓝宝石炉。该蓝宝石炉包括保温钨屏、大齿轮、小齿轮、轴承、传输轴、磁流体、电机和减速机，保温钨屏设置在大齿轮上，大齿轮安装在轴承上，轴承固定在蓝宝石炉的炉底板上，电机与减速机相连接，减速机与传输轴连接，传输轴通过磁流体从蓝宝石炉的外部进入蓝宝石炉的腔体内部，传输轴在蓝宝石炉的腔体内部与小齿轮固定，小齿轮与大齿轮连接形成齿轮传动。在拉晶的过程中，保温钨屏通过电机带动进行低速缓慢的旋转，使腔体内的温度分布更加均匀，且能够更有效的形成拉晶中需要的温度梯度。本发明有利于拉晶过程中的引晶工序，能够提高拉晶的速率以及有助高品质蓝宝石晶体的生成。
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公开(公告)号：CN103451720A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310340040.6
申请日：2013-08-06
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： C30B15/00
摘要： 本发明涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供电动热屏提升装置。该电动热屏提升装置包括脉冲发生器和至少两个提升装置，提升装置包括电动装置、直线运动单元、调节旋钮、密封座、波纹管、提升杆和提升爪，提升爪连接在提升杆的一端，提升杆的另一端通过波纹管与密封座再与调节旋钮连接，密封座安装在直线运动单元上，直线运动单元与电动装置相连，所述电动装置包括电机及驱动器；脉冲发生器与各个驱动器分别相连接。本发明在传统热屏提升的基础上改进为电动提升装置，并采用一个脉冲发生器连接各个驱动器来控制步进电机，这样保证了多处提升点实现同步升降，增强了可靠性，也为实现热屏提升的自动化控制奠定了基础。
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公开(公告)号：CN203639598U
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201320789220.8
申请日：2013-12-03
申请人： 杭州慧翔电液技术开发有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备，旨在提供用于单晶炉的外部装料机构。该用于单晶炉的外部装料机构包括石英坩埚、真空吸盘、手动真空阀、真空表、密封圈和真空泵，真空吸盘上设有至少两个气咀，分别连接有手动真空阀和真空表，手动真空阀通过气咀与真空泵连接，真空吸盘通过密封圈和石英坩埚密封连接。本实用新型能在拉晶的任何时候将多晶硅料装入石英坩埚内，不需要等待擦炉完毕，再将石英坩埚先放入热场内再进行。使装料过程由全人工转变为机械化，节约了装料的时间，使操作更简单、便捷，同时也避免了装料过程中多晶硅原料碎屑掉入热场内带来必要的损失。
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