发明公开
- 专利标题: 硅基半导体超短脉冲激光器
- 专利标题(英): Silicon-substrate semiconductor ultrashort pulse laser
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申请号: CN201310357340.5申请日: 2013-08-16
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公开(公告)号: CN103414106A公开(公告)日: 2013-11-27
- 发明人: 丁颖 , 倪海桥 , 李密锋 , 喻颖 , 查国伟 , 徐建新 , 王莉娟 , 牛智川
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 汤保平
- 主分类号: H01S5/343
- IPC分类号: H01S5/343
摘要:
一种硅基半导体超短脉冲激光器,包括:一硅衬底、一缓冲层、一下光限制包层、一下势垒、一有源层、一上势垒、一上光限制包层和一欧姆接触层;其中该缓冲层、下光限制包层、下势垒、有源层、上势垒、上光限制包层和欧姆接触层依次制作在硅衬底上;所述下光限制包层、下势垒、有源层、上势垒、上光限制包层和欧姆接触层为半导体激光器外延结构;其中在欧姆接触层的表面向下开有沟槽,该沟槽中填充有二氧化硅材料,该沟槽的一侧为半导体放大器,另一侧为可饱和吸收体结构。本发明可以很好地解决目前半导体超短脉冲激光器主要以GaAs或InP为衬底,无法和硅基微电子集成的问题。
公开/授权文献
- CN103414106B 硅基半导体超短脉冲激光器 公开/授权日:2015-07-15