发明公开
- 专利标题: 制造非易失性存储器件的方法
- 专利标题(英): Method for fabricating nonvolatile memory device
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申请号: CN201210548483.X申请日: 2012-12-17
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公开(公告)号: CN103426824A公开(公告)日: 2013-12-04
- 发明人: 郑盛旭 , 李闰敬 , 安泳洙 , 李泰和
- 申请人: 爱思开海力士有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 爱思开海力士有限公司
- 当前专利权人: 爱思开海力士有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京弘权知识产权代理事务所
- 代理商 周晓雨; 俞波
- 优先权: 10-2012-0051567 2012.05.15 KR
- 主分类号: H01L21/8247
- IPC分类号: H01L21/8247
摘要:
本发明公开了一种制造非易失性存储器件的方法,所述方法包括以下步骤:形成具有多个层间电介质层和多个牺牲层的层叠结构,其中,层间电介质层和牺牲层交替地层叠在衬底之上;通过选择性地刻蚀层叠结构来形成暴露出衬底的一部分的第一孔;在第一孔中形成第一绝缘层;通过选择性地刻蚀第一绝缘层来形成暴露出衬底的一部分的第二孔;以及在第二孔中形成沟道层。
公开/授权文献
- CN103426824B 制造非易失性存储器件的方法 公开/授权日:2018-04-17