制造非易失性存储器件的方法
摘要:
本发明公开了一种制造非易失性存储器件的方法,所述方法包括以下步骤:形成具有多个层间电介质层和多个牺牲层的层叠结构,其中,层间电介质层和牺牲层交替地层叠在衬底之上;通过选择性地刻蚀层叠结构来形成暴露出衬底的一部分的第一孔;在第一孔中形成第一绝缘层;通过选择性地刻蚀第一绝缘层来形成暴露出衬底的一部分的第二孔;以及在第二孔中形成沟道层。
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