电化学处理器中的密封环
摘要:
本发明提供一种用于电化学处理器的密封环,所述密封环在按压抵靠晶片表面时不横向滑移或偏转。所述密封环可在处理器的转子上,其中密封环具有外壁,所述外壁通过末端接合至尖端圆弧。所述外壁可为直壁。相对刚性的支撑环可附接至密封环,以提供更精确的密封尺寸。也可使用在晶片表面上横向地滑移或偏转的刀口密封环。在这些设计中,滑移是大体上均匀且一致的,从而产生改进的性能。
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