发明授权
- 专利标题: 电化学处理器中的密封环
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申请号: CN201310183105.0申请日: 2013-05-17
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公开(公告)号: CN103426831B公开(公告)日: 2017-05-31
- 发明人: 诺兰·L·齐默曼 , 乔治·马汀格 , 格雷戈里·J·威尔逊 , 埃里克·A·英格哈特 , 拉姆齐·巴拉穆鲁加恩
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权: 13/474,533 20120517 US
- 主分类号: H01L23/16
- IPC分类号: H01L23/16
摘要:
本发明提供一种用于电化学处理器的密封环,所述密封环在按压抵靠晶片表面时不横向滑移或偏转。所述密封环可在处理器的转子上,其中密封环具有外壁,所述外壁通过末端接合至尖端圆弧。所述外壁可为直壁。相对刚性的支撑环可附接至密封环,以提供更精确的密封尺寸。也可使用在晶片表面上横向地滑移或偏转的刀口密封环。在这些设计中,滑移是大体上均匀且一致的,从而产生改进的性能。
公开/授权文献
- CN103426831A 电化学处理器中的密封环 公开/授权日:2013-12-04
IPC分类: