发明公开
- 专利标题: 一种高压NLDMOS静电保护结构
- 专利标题(英): High-voltage NLDMOS electrostatic protection structure
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申请号: CN201210152866.5申请日: 2012-05-16
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公开(公告)号: CN103426878A公开(公告)日: 2013-12-04
- 发明人: 苏庆 , 苗彬彬 , 王邦磷 , 邓樟鹏
- 申请人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区上海浦东川桥路1188号
- 专利权人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区上海浦东川桥路1188号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 丁纪铁
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02
摘要:
本发明公开了一种高压NLDMOS静电保护结构,在硅衬底上排列成多指状,包括:硅衬底上部形成有交替排列的高压N阱和高压P阱,器件左右最外侧的高压N阱中形成有相间排布的N型注入区和P型注入区,器件中间的高压N阱中形成有N型注入区,高压P阱中形成有相间排布N型注入区和P型注入区,多晶硅栅形成于高压N阱和高压P阱相接处的上方;所有高压P阱中的N型注入区和P型注入区相连接地,左右最外侧的高压N阱中的P型注入区与该高压N阱中一N型注入区相连接静电输入端,所有器件中间高压N阱中的N型注入区接静电输入端,所有多晶硅栅接信号端。本发明的高压NLMOS静电保护结构能提高现有NLDMOS器件静电自保护能力。
公开/授权文献
- CN103426878B 一种高压NLDMOS静电保护结构 公开/授权日:2016-02-10
IPC分类: