一种高压NLDMOS静电保护结构
摘要:
本发明公开了一种高压NLDMOS静电保护结构,在硅衬底上排列成多指状,包括:硅衬底上部形成有交替排列的高压N阱和高压P阱,器件左右最外侧的高压N阱中形成有相间排布的N型注入区和P型注入区,器件中间的高压N阱中形成有N型注入区,高压P阱中形成有相间排布N型注入区和P型注入区,多晶硅栅形成于高压N阱和高压P阱相接处的上方;所有高压P阱中的N型注入区和P型注入区相连接地,左右最外侧的高压N阱中的P型注入区与该高压N阱中一N型注入区相连接静电输入端,所有器件中间高压N阱中的N型注入区接静电输入端,所有多晶硅栅接信号端。本发明的高压NLMOS静电保护结构能提高现有NLDMOS器件静电自保护能力。
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