发明授权
CN103429979B 用于在多晶硅生产工艺中使用液态氮提纯硅烷的系统和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于在多晶硅生产工艺中使用液态氮提纯硅烷的系统和方法
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申请号： CN201180065193.3申请日： 2011-11-08
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公开(公告)号： CN103429979B公开(公告)日： 2015-10-21
- 发明人: Z.孙 , D-C.谢 , A.T.程
- 申请人： 普莱克斯技术有限公司
- 申请人地址： 美国康涅狄格州
- 专利权人： 普莱克斯技术有限公司
- 当前专利权人： 普莱克斯技术有限公司
- 当前专利权人地址： 美国康涅狄格州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 谭佐晞; 杨楷
- 优先权： 61/414702 2010.11.17 US
- 国际申请： PCT/US2011/059711 2011.11.08
- 国际公布： WO2012/067892 EN 2012.05.24
- 进入国家日期： 2013-07-17
- 主分类号： F25J3/08
- IPC分类号： F25J3/08
摘要：
提供了一种用于在多晶硅制造中改进工艺流的低温冷却的系统和方法。所公开的系统和方法提供在制造多晶硅期间的硅烷和氢工艺流的低温冷却，同时从气化的氮回收制冷能力和从冷氢流回收制冷能力。改进的低温冷却系统和方法减少了液态氮的总体消耗，而不会损害硅烷和氢工艺流的低温冷却的冷却性能。
公开/授权文献
- CN103429979A 用于在多晶硅生产工艺中使用液态氮提纯硅烷的系统和方法 公开/授权日：2013-12-04