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公开(公告)号:CN103429979B
公开(公告)日:2015-10-21
申请号:CN201180065193.3
申请日:2011-11-08
申请人: 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号: F25J3/08
CPC分类号: F25J3/00 , C01B33/035 , H02K21/38
摘要: 提供了一种用于在多晶硅制造中改进工艺流的低温冷却的系统和方法。所公开的系统和方法提供在制造多晶硅期间的硅烷和氢工艺流的低温冷却,同时从气化的氮回收制冷能力和从冷氢流回收制冷能力。改进的低温冷却系统和方法减少了液态氮的总体消耗,而不会损害硅烷和氢工艺流的低温冷却的冷却性能。
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公开(公告)号:CN103201576B
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201180055170.4
申请日:2011-11-08
申请人: 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号: F25J3/00
摘要: 本发明提供了一种用于过程气体的改进的低温冷却的系统和方法。所公开的系统和方法通过同时进行的来自蒸发的氮的制冷容量回收和来自冷的氢气流的制冷容量的回收而提供了多晶硅制造期间的硅烷和氢气过程流的低温冷却。改进的低温冷却系统和方法减少了液氮的总的消耗而无损硅烷和氢气过程流的低温冷却的冷却性能。
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公开(公告)号:CN103429979A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201180065193.3
申请日:2011-11-08
申请人: 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号: F25J3/08
CPC分类号: F25J3/00 , C01B33/035 , H02K21/38
摘要: 本发明提供了一种用于在多晶硅制造中改进工艺流的低温冷却的系统和方法。所公开的系统和方法提供在制造多晶硅期间的硅烷和氢工艺流的低温冷却,同时从气化的氮回收制冷能力和从冷氢流回收制冷能力。改进的低温冷却系统和方法减少了液态氮的总体消耗,而不会损害硅烷和氢工艺流的低温冷却的冷却性能。
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公开(公告)号:CN103201576A
公开(公告)日:2013-07-10
申请号:CN201180055170.4
申请日:2011-11-08
申请人: 普莱克斯技术有限公司
IPC分类号: F25J3/00
摘要: 本发明提供了一种用于过程气体的改进的低温冷却的系统和方法。所公开的系统和方法通过同时进行的来自蒸发的氮的制冷容量回收和来自冷的氢气流的制冷容量的回收而提供了多晶硅制造期间的硅烷和氢气过程流的低温冷却。改进的低温冷却系统和方法减少了液氮的总的消耗而无损硅烷和氢气过程流的低温冷却的冷却性能。
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