发明授权
- 专利标题: 一种用于光刻机工件台的线缆台
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申请号: CN201310388961.X申请日: 2013-08-30
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公开(公告)号: CN103439867B公开(公告)日: 2015-09-30
- 发明人: 朱煜 , 刘召 , 张鸣 , 成荣 , 杨开明 , 徐登峰 , 张利 , 秦慧超 , 赵彦坡 , 胡清平 , 田丽 , 叶伟楠 , 张金 , 尹文生 , 穆海华 , 胡金春
- 申请人: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 专利权人: 清华大学,北京华卓精科科技有限公司
- 当前专利权人: 清华大学,北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 邸更岩
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
一种用于光刻机工件台的线缆台,主要应用于半导体光刻机中。该线缆台含有从平面电机引出的线缆束、X方向和Y方向直线导轨滑块机构、X方向直线电机和Y方向驱动装置。Y方向直线导轨滑块机构通过L型连接板与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接;线缆束与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接;Y方向驱动装置含有微型伺服电机、一个沿Y轴方向布置的同步带传动机构和悬臂支撑杆。本发明的线缆束与平面电机之间没有硬连接,线缆台可自由运动;通过线性光栅尺和光电位置探测器跟随的方式控制线缆台和平面电机动子之间的距离,避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰,进而降低了线缆束对工作台的响应速度和运动过程中的速度和运动定位精度的影响。
公开/授权文献
- CN103439867A 一种用于光刻机工件台的线缆台 公开/授权日:2013-12-11