公开(公告)号：CN105141089A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510587640.1

申请日：2015-09-15

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 朱煜 ,  陈安林 ,  张鸣 ,  杨开明 ,  成荣

IPC分类号： H02K16/00 ,  B64G1/24

CPC分类号： B64G1/24 ,  H02K16/00

摘要： 一种磁流体动量球，用于卫星姿态调整，所述磁流体动量球包含定子和一个球壳；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以球壳的球心对称布置，定子内表面为球面；所述球壳采用两个半球壳组合而成，球壳材料为非铁磁性材料，定子内表面紧贴球壳外表面，球壳和定子内表面无相对运动，球壳内填充磁流体。本发明中采用磁流体的转动进行卫星姿态调整，体积和质量小，成本低，各轴之间耦合小；本发明中磁流体动量球的球壳不转动，制造简单，结构紧凑；磁流体与球壳之间的摩擦小、损耗低，可靠性和效率高。

公开(公告)号：CN104049472A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410306905.1

申请日：2014-06-30

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  成荣 ,  杨开明 ,  支凡 ,  张金 ,  陈安林 ,  张利 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  徐登峰 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种电磁弹射启动式掩模台系统，用于光刻机系统中，所述掩模台系统包含底座、平衡块组件、掩模台动台和测量系统。所述平衡块组件包括平衡块、掩模台YZ向电机线圈和掩模台X向电机线圈；所述掩模台动台包括掩模台动台基底、掩模台YZ向电机磁钢阵列和掩模台X向电机磁钢阵列；所述电磁弹射启动式掩模台系统还包括弹射结构，所述弹射结构包括弹射结构定子磁钢阵列、弹射结构动子磁钢阵列、弹射台、弹射台电机动子、弹射台电机定子和导轨。本发明采用弹射结构，提高了光刻机掩模台的启动和停止阶段的加速度，减小了加速时间，降低了能耗和对驱动器的要求。

公开(公告)号：CN103956880A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201410222778.7

申请日：2014-05-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  陈安林 ,  支凡 ,  杨开明 ,  成荣 ,  刘召 ,  蔡田 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华

IPC分类号： H02K41/03

摘要： 一种动铁式直线电机多盘式线圈切换装置及方法，所述切换装置含有布置在一根转轴上的多相圆盘组，每一相圆盘组包含线圈圆盘和驱动器圆盘，线圈圆盘上布置有线圈电极，驱动器圆盘上布置有驱动器电极，每一相线圈通过导线与该相线圈电极相连，每一相驱动器通过导线与该相驱动器电极相连，线圈圆盘和驱动器圆盘随着磁钢阵列的运动而绕着转轴相对转动，实现线圈电极与驱动器电极的接触与分离，从而实现驱动器对线圈阵列中不同相线圈的供电。本发明降低能耗和电机发热，减少驱动器数量，能够实现在动铁式直线电机行程较大，参与切换的线圈数量较多的场合中线圈的有效切换。

公开(公告)号：CN103759656A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410031251.6

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  吴亚风 ,  刘召 ,  杨开明 ,  成荣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  胡金春 ,  尹文生 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、信号处理单元；光栅干涉仪包括侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器的激光入射至干涉仪、测量光栅后输出光信号至接收器，后至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出二个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分，能够实现亚纳米甚至更高分辨率，且能够同时测量二个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、质量轻等优点，作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。

公开(公告)号：CN103759655A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410031125.0

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  王磊杰 ,  刘召 ,  吴亚风 ,  成荣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  杨开明 ,  胡金春 ,  胡楚雄 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 基于光学倍程法的二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统，包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和电子信号处理单元；光栅干涉仪包括激光管、偏振片、偏振分光棱镜、参考光栅、折光元件及四通道零差结构。该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元，转换为电信号至电子信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学倍程，能够实现亚纳米甚至更高分辨率。采用零差信号处理，可消除直流分量和幅值变化带来的影响，具有对环境不敏感、测量精度高等优点，作为光刻机超精密工件台位移测量系统可提升工件台性能。

公开(公告)号：CN103759654A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201410031123.1

申请日：2014-01-23

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 刘召 ,  朱煜 ,  张鸣 ,  吴亚风 ,  王磊杰 ,  成荣 ,  穆海华 ,  胡金春 ,  徐登峰 ,  尹文生 ,  胡楚雄 ,  杨开明 ,  祁利山

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 一种二自由度零差光栅干涉仪位移测量系统，包括光栅干涉仪、测量光栅、预处理单元和信号处理单元；光栅干涉仪包括激光管、侧向位移分光棱镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、参考光栅、折光元件及四通道零差结构；该系统基于光栅衍射、光学多普勒和零差信号处理实现位移测量。光栅干涉仪输出光信号至预处理单元，转换为电信号至信号处理单元。当干涉仪与测量光栅做二自由度线性相对运动时，系统可输出两个线性位移。该测量系统采用二次衍射原理实现光学四细分，能够实现亚纳米甚至更高分辨率，可测两个线性位移。采用零差信号处理，可消除直流分量和幅值变化带来的影响，具有对环境不敏感、测量精度高等优点。

公开(公告)号：CN103715975A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310750361.3

申请日：2013-12-31

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 朱煜 ,  张鸣 ,  刘召 ,  刘峰 ,  成荣 ,  支凡 ,  胡金春 ,  徐登峰 ,  杨开明 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华

IPC分类号： H02P31/00

摘要： 一种控制平面电机线圈电流快速切换的装置，包含控制区和电子开关阵列区。控制区根据平面电机供电需求给出控制指令，控制电子开关做出相应开关动作。按照行列方式排布控制区的多路输出线路，每个行列交点位置布置一个电子开关，每个电子开关由行、列两个指令控制闭合或者断开，每个开关连接一个或者多个线圈。本发明可以通过实际需求设定开关阵列的大小，结构柔性高，同时能够减少所需控制端口的数量，进而能够适用于不同类型平面电机。

公开(公告)号：CN103673891A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310595336.2

申请日：2013-11-21

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 朱煜 ,  胡金春 ,  陈龙敏 ,  成荣 ,  高阵雨 ,  杨开明

IPC分类号： G01B11/02

摘要： 一种光栅外差干涉自准直测量装置，该装置主要包括双频激光器、1/4波片、分光系统、光电转换系统、偏振分光镜、反射镜和光栅。激光器射出双频激光通过1/4波片后，变为两束相互垂直的线偏振光。进入分光系统后被分为三路，一路进入参考光路光电转换系统，剩余两路进入正负测量臂偏振分光镜。在进入偏振分光镜的激光中，其反射s光经反射镜反射到光栅上，其中入射角被设定为依据相应衍射级次的自准直角。当光栅在水平和垂向移动时，测量光路光电转换系统检测到的两路包含位移相关信息的信号，结合参考光信息，即可解得光栅水平及垂向位移。由于自准直角设置不取决于光栅位移，因此本发明装置能进行水平大行程位移及垂向位移测量。

公开(公告)号：CN103543612A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201310447559.4

申请日：2013-09-25

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  徐登峰 ,  成荣 ,  刘召 ,  杨开明 ,  张利 ,  秦慧超 ,  赵彦坡 ,  胡清平 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种带真空罩的动铁式无线缆六自由度磁浮运动平台，主要应用于半导体光刻设备中。该磁浮运动平台含有基座、定子、动子、载片台和测量系统；在动子和载片台之间设有三轴陀螺仪、三轴加速度计、电源模块和无线信号输出模块，并将它们集成在一块线路板上；将动子和定子分别设置于一个真空腔中。本发明采用平面光栅尺测量系统来实现高精度测量，并运用无线充电技术和无线信号传输技术，来实现磁浮运动平台的无线缆设计，使磁浮运动平台的运动部分可在水平面内实现大角度的自由旋转，大大提高了工作台的抗干扰能力和控制系统的控制带宽；同时在极紫外光刻时，避免了一些灌封胶释放的一些气体对光刻产生的影响。

公开(公告)号：CN103309176A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310239699.2

申请日：2013-06-17

申请人： 清华大学 ,  北京华卓精科科技有限公司

发明人： 张鸣 ,  朱煜 ,  刘召 ,  成荣 ,  杨开明 ,  徐登峰 ,  张利 ,  赵彦坡 ,  秦慧超 ,  胡清平 ,  田丽 ,  叶伟楠 ,  张金 ,  尹文生 ,  穆海华 ,  胡金春

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种带升降真空爪的六自由度微动台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块、真空吸盘、微动台上盖、升降真空爪和基座；真空吸盘设置在微动台上盖的上表面的凹槽内；升降真空爪布置在微动台上盖的下方，包括驱动模块、导向模块和测量模块；驱动模块是一个音圈电机，导向模块由两组微型滚珠导轨组成，测量模块是一个线性光栅尺传感器组件。本发明与现有六自由度微动台相比，由于增加了一个带升降真空爪，使得该六自由度微动台具有一个沿垂直方向的大行程的单自由度抬升与抓取功能，满足了光刻机对于硅片的抬升与抓取的要求。