一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置
Abstract:
本发明涉及蓝宝石炉晶体生长炉领域,旨在提供一种用于蓝宝石炉的三等分圆盘称重装置。该三等分圆盘称重装置包括小称重传感器、大称重传感器、称重盘、顶帽、支点和环形的基座,小称重传感器、大称重传感器和支点三点等均固定在基座上,小称重传感器、大称重传感器和支点上各安装有一个半球形的顶帽,且三个顶帽的高度一致,称重盘对中安装在三个顶帽上。本发明结构稳定、对外界的抗干扰性强、测量数据精准,而且大、小量程的选择为在不通阶段的晶体重量测得更加精准。本发明将更有利于蓝宝石炉的引晶工艺的完成,使后期整个长晶过程中的拉速控制有了实际数字参照,为实现自动化引晶检测和长晶做好了准备。
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