- 专利标题： 形貌补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置
- 专利标题（英）： Method and device for calibrating morphology compensation type four-optical-axis angular displacement laser interferometer
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申请号： CN201310475607.0申请日： 2013-10-11
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公开(公告)号： CN103499289B公开(公告)日： 2015-03-11
- 发明人: 胡鹏程 , 谭久彬
- 申请人： 哈尔滨工业大学
- 申请人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人： 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人： 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 主分类号： G01B9/02
- IPC分类号： G01B9/02 ; G01B11/26
摘要：
形貌补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置属于激光测量技术领域，本发明将被校准激光干涉仪四条测量光束穿过四轴中空激光干涉镜组的中间通孔，四条被校准激光干涉仪测量光束平行置于四条平行标准测量光束中间位置；标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束垂直距离很小，标准测量光束与被校准激光干涉仪测量光束空气折射率值非常接近；目标反射镜反射面表面形貌造成的测量位移误差补偿到角位移测量结果中，保证角位移测量值的准确性。
公开/授权文献
- CN103499289A 形貌补偿式四光轴角位移激光干涉仪校准方法与装置 公开/授权日：2014-01-08
