一种氮化镓基LED外延结构及其制备方法
摘要:
本发明涉及GaN基LED外延结构,具体是一种氮化镓基LED外延结构及其制备方法。本发明解决了现有GaN基LED外延结构发光效率较低、光电性能较差、以及良率较低的问题。一种氮化镓基LED外延结构包括蓝宝石衬底、低温GaN缓冲层、未掺杂GaN层、n型掺杂GaN层、超晶格层、多量子阱发光层、p型AlGaN层、p型GaN接触层;其中,低温GaN缓冲层生长于蓝宝石衬底的上表面;未掺杂GaN层生长于低温GaN缓冲层的上表面;n型掺杂GaN层生长于未掺杂GaN层的上表面;超晶格层生长于n型掺杂GaN层的上表面;多量子阱发光层生长于超晶格层的上表面。本发明适用于制造半导体发光器件。
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