发明公开
- 专利标题: 一种氮化镓基LED外延结构及其制备方法
- 专利标题(英): Gallium nitride (GaN)-based light-emitting diode (LED) epitaxy structure and preparation method thereof
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申请号: CN201310453881.8申请日: 2013-09-29
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公开(公告)号: CN103500780A公开(公告)日: 2014-01-08
- 发明人: 梁建 , 韩蕊蕊 , 吴文质 , 马淑芳 , 杨鑫 , 田海军 , 许并社
- 申请人: 山西飞虹微纳米光电科技有限公司 , 太原理工大学
- 申请人地址: 山西省临汾市洪洞县甘亭镇燕壁村
- 专利权人: 山西飞虹微纳米光电科技有限公司,太原理工大学
- 当前专利权人: 山西飞虹微纳米光电科技有限公司,太原理工大学
- 当前专利权人地址: 山西省临汾市洪洞县甘亭镇燕壁村
- 代理机构: 太原科卫专利事务所
- 代理商 朱源
- 主分类号: H01L33/06
- IPC分类号: H01L33/06 ; H01L33/00
摘要:
本发明涉及GaN基LED外延结构,具体是一种氮化镓基LED外延结构及其制备方法。本发明解决了现有GaN基LED外延结构发光效率较低、光电性能较差、以及良率较低的问题。一种氮化镓基LED外延结构包括蓝宝石衬底、低温GaN缓冲层、未掺杂GaN层、n型掺杂GaN层、超晶格层、多量子阱发光层、p型AlGaN层、p型GaN接触层;其中,低温GaN缓冲层生长于蓝宝石衬底的上表面;未掺杂GaN层生长于低温GaN缓冲层的上表面;n型掺杂GaN层生长于未掺杂GaN层的上表面;超晶格层生长于n型掺杂GaN层的上表面;多量子阱发光层生长于超晶格层的上表面。本发明适用于制造半导体发光器件。
公开/授权文献
- CN103500780B 一种氮化镓基LED外延结构及其制备方法 公开/授权日:2016-03-30
IPC分类: