本发明提出一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气水洗处理方法及装置。其包括废气缓冲罐，与废气缓冲罐的入口连接的含氯硅烷废气供应管路，与废气缓冲罐的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统。本发明将含氯硅烷的废气送入喷淋塔，用10～30％氢氧化钠喷林洗涤。喷淋后产生的气体经水封罐排入大气。此方法有效解决了氯化氢逃逸的问题，并解决了传统水洗会产生二氧化硅堵塞管道的问题，实现环保治理的“无害化。本发明装置既能有效地对氯硅烷废气进行无害化处理，又能有效减少氯化氢逃逸，反应产生的硅酸钠也相对便于清除。