一种多晶硅行业废气水洗处理方法及装置

    公开(公告)号:CN103505996A

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:CN201310438955.0

    申请日:2013-09-24

    IPC分类号: B01D53/78 B01D53/68

    摘要: 本发明提出一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气水洗处理方法及装置。其包括废气缓冲罐,与废气缓冲罐的入口连接的含氯硅烷废气供应管路,与废气缓冲罐的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统。本发明将含氯硅烷的废气送入喷淋塔,用10~30%氢氧化钠喷林洗涤。喷淋后产生的气体经水封罐排入大气。此方法有效解决了氯化氢逃逸的问题,并解决了传统水洗会产生二氧化硅堵塞管道的问题,实现环保治理的无害化。本发明装置既能有效地对氯硅烷废气进行无害化处理,又能有效减少氯化氢逃逸,反应产生的硅酸钠也相对便于清除。

    一种多晶硅行业废气水洗处理方法及装置

    公开(公告)号:CN103505996B

    公开(公告)日:2015-06-03

    申请号:CN201310438955.0

    申请日:2013-09-24

    IPC分类号: B01D53/78 B01D53/68

    摘要: 本发明提出一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气水洗处理方法及装置。其包括废气缓冲罐,与废气缓冲罐的入口连接的含氯硅烷废气供应管路,与废气缓冲罐的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统。本发明将含氯硅烷的废气送入喷淋塔,用10~30%氢氧化钠喷林洗涤。喷淋后产生的气体经水封罐排入大气。此方法有效解决了氯化氢逃逸的问题,并解决了传统水洗会产生二氧化硅堵塞管道的问题,实现环保治理的“无害化。本发明装置既能有效地对氯硅烷废气进行无害化处理,又能有效减少氯化氢逃逸,反应产生的硅酸钠也相对便于清除。

    一种火炬气余热回收利用装置

    公开(公告)号:CN202032592U

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201020687983.8

    申请日:2010-12-29

    IPC分类号: F23G7/06 F22B1/00

    摘要: 本实用新型提供一种火炬气余热回收利用装置,该装置在火炬气供应管路一上设有切断阀;火炬气供应管路二一端与火炬气供应管路一连接,另一端与火炬连接;火炬还分别连接燃气供应管路三和点火装置;该装置还包括一个具有两个相互导通燃烧室的焚烧炉,焚烧炉的一燃室入口分别连接了火炬气供应管路一、燃气供应管路一和助燃风供应管路一;焚烧炉的二燃室入口分别连接了燃气供应管路二和助燃风供应管路二;焚烧炉的二燃室出口处连接了余热锅炉;余热锅炉上部的入水口连接锅炉给水管路二,余热锅炉上部的出汽口连接蒸汽输出管路;余热锅炉出口处连接引风机,引风机出口连接烟囱。本实用新型装置安全可靠、系统配置合理,具有节能减排的突出特性。

    一种多晶硅行业废气水洗处理装置

    公开(公告)号:CN203494384U

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201320591628.4

    申请日:2013-09-24

    IPC分类号: B01D53/78 B01D53/68

    摘要: 本实用新型提出一种多晶硅生产过程中产生的含氯硅烷废气水洗处理装置。其包括废气缓冲罐,与废气缓冲罐的入口连接的含氯硅烷废气供应管路,与废气缓冲罐的出口连接的正常废气喷淋系统、事故废气喷淋系统及应急水洗系统。本实用新型装置既能有效地对氯硅烷废气进行无害化处理,又能有效减少氯化氢逃逸,反应产生的硅酸钠也相对便于清除。设计了正常喷林塔、事故喷林塔、水封罐和应急水池,最后保证排放尾气符合GB16297-1996标准的排放要求。整个系统工艺流程简单、实用、合理、可靠。