具有等离子体共振散射响应的纳米孔芯片的制备方法
摘要:
本发明具有等离子体共振散射响应的纳米孔芯片的制备方法,其步骤包括:⑴芯片基材的选择,选择硅片为基材,在硅片正面沉积绝缘材料,反面没有绝缘材料;⑵利用湿法刻蚀法在硅片反面刻蚀正方形区域,直到纳米孔芯片薄膜在这一面裸露;⑶纳米孔刻蚀,利用聚焦离子束或聚焦电子束轰击纳米孔芯片薄膜,在纳米孔芯片薄膜上形成纳米小孔;⑷贵金属修饰,利用磁控溅射仪使纳米孔芯片薄膜表面镀上一层贵金属层。本发明的制备方法步骤简单,尺寸可控,成本较低;通过在纳米孔上的贵金属修饰,制备了一种同时具有光电响应纳米孔芯片,该纳米孔芯片能发生等离子体共振耦合现象,从而对光谱信号产生放大作用,可用于纳米孔电化学检测的较多领域。
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