• 专利标题: 具有减小寄生电阻的带电单层的碳场效应晶体管
  • 专利标题(英): Carbon field effect transistors having charged monolayers to reduce parasitic resistance
  • 申请号: CN201280022183.6
    申请日: 2012-02-14
  • 公开(公告)号: CN103518255A
    公开(公告)日: 2014-01-15
  • 发明人: 邱馨莹汉述仁H·T·毛纳
  • 申请人: 国际商业机器公司
  • 申请人地址: 美国纽约
  • 专利权人: 国际商业机器公司
  • 当前专利权人: 格芯美国第二有限责任公司
  • 当前专利权人地址: 美国纽约
  • 代理机构: 北京市中咨律师事务所
  • 代理商 于静; 张亚非
  • 优先权: 13/104,591 2011.05.10 US
  • 国际申请: PCT/US2012/024968 2012.02.14
  • 国际公布: WO2012/154239 EN 2012.11.15
  • 进入国家日期: 2013-11-07
  • 主分类号: H01L21/335
  • IPC分类号: H01L21/335
具有减小寄生电阻的带电单层的碳场效应晶体管
摘要:
具有由诸如碳纳米管或石墨烯的碳纳米结构形成的沟道并且具有减小沟道的未选通区域中的寄生电阻的带电单层的碳晶体管器件,以及制造具有用于减小寄生电阻的带电单层的碳晶体管器件的方法。例如,碳场效应晶体管包括:形成在绝缘层上的包含碳纳米结构的沟道;形成在所述沟道上的栅极结构;共形地覆盖所述栅极结构以及所述沟道的与所述栅极结构邻近的部分的DNA单层;共形地形成在所述DNA单层上的绝缘隔离物;以及通过所述沟道连接的源极接触和漏极接触。
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