- 专利标题: 一种基于N型注入层的IGBT芯片及其制造方法
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申请号: CN201310527108.1申请日: 2013-10-30
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公开(公告)号: CN103531620B公开(公告)日: 2017-02-08
- 发明人: 刘江 , 包海龙 , 张宇 , 刘隽 , 车家杰 , 赵哿 , 高明超 , 金锐
- 申请人: 国家电网公司 , 国网上海市电力公司 , 国网智能电网研究院
- 申请人地址: 北京市西城区西长安街86号
- 专利权人: 国家电网公司,国网上海市电力公司,国网智能电网研究院
- 当前专利权人: 国家电网公司,国网上海市电力公司,国网智能电网研究院
- 当前专利权人地址: 北京市西城区西长安街86号
- 代理机构: 北京安博达知识产权代理有限公司
- 代理商 徐国文
- 主分类号: H01L29/739
- IPC分类号: H01L29/739 ; H01L29/06 ; H01L21/331
摘要:
本发明涉及半导体器件技术,具体涉及一种基于N型注入层的IGBT芯片及其制造方法。IGBT芯片包括有源区、终端区和栅极区,在所述有源区和所述终端区均设有N型注入层;所述N型注入层在有源区包括以下设置方式:所述N型注入层包围P-基区;所述N型注入层包围P-基区且延伸到栅氧化层的下方和所述N型注入层包围P-基区且未包围P-基区拐角处。还提供了一种IGBT芯片的制造方法,本发明中在IGBT设计时引入N型注入层,优化了终端区的设计,降低了终端区的尺寸。同时降低了有源区的饱和电压,提高了芯片的电流能力。本发明在不影响IGBT芯片其他性能的前提下,通过引入N型注入层,优化IGBT芯片各功能区域的比例,提高了IGBT芯片的电流能力。
公开/授权文献
- CN103531620A 一种基于N型注入层的IGBT芯片及其制造方法 公开/授权日:2014-01-22
IPC分类: