发明授权
- 专利标题: 使用多孔化表面用于制作堆栈结构的接合方法
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申请号: CN201310319903.1申请日: 2013-07-26
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公开(公告)号: CN103569948B公开(公告)日: 2017-04-12
- 发明人: R·K·科特兰卡 , R·库马尔 , P·奇拉亚瑞卡帝维度桑卡拉皮莱 , H·林 , P·耶勒汉卡
- 申请人: 新加坡商格罗方德半导体私人有限公司
- 申请人地址: 新加坡,新加坡城
- 专利权人: 新加坡商格罗方德半导体私人有限公司
- 当前专利权人: 新加坡商世界先进积体电路私人有限公司
- 当前专利权人地址: 新加坡,新加坡城
- 代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟; 王锦阳
- 优先权: 13/559,626 20120727 US
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00 ; H01L21/50
摘要:
本发明涉及一种使用多孔化表面用于制作堆栈结构的接合方法,其中,揭露有具有至少一多孔化表面的接合装置。多孔化工艺将纳米多孔性孔洞带进装置接合表面的微结构。多孔化材料的材料特性比非多孔化材料软。对于相同的接合条件,与非多孔化材料相比较,多孔化接合表面的使用得强化接合接口的接合强度。
公开/授权文献
- CN103569948A 使用多孔化表面用于制作堆栈结构的接合方法 公开/授权日:2014-02-12