使用多孔化表面用于制作堆栈结构的接合方法
摘要:
本发明涉及一种使用多孔化表面用于制作堆栈结构的接合方法,其中,揭露有具有至少一多孔化表面的接合装置。多孔化工艺将纳米多孔性孔洞带进装置接合表面的微结构。多孔化材料的材料特性比非多孔化材料软。对于相同的接合条件,与非多孔化材料相比较,多孔化接合表面的使用得强化接合接口的接合强度。
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