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发明公开
CN103575661A 包含垂直入射和斜入射的光学测量系统 无效 - 驳回

包含垂直入射和斜入射的光学测量系统
摘要：
本申请公开了一种包含垂直入射和斜入射的光学测量系统，包括光源、光纤束、反射聚焦系统、第一聚光单元、第二聚光单元、第三聚光单元、第四聚光单元、第一偏振器、第二偏振器以及光谱计。本申请提供的包含垂直入射和斜入射的光学测量系统包含斜入射和垂直入射的两个测量装置，提高了样品测量的精度。
摘要（英）：

The application discloses an optical measurement system with vertical and oblique incidence measurement functions. The optical measurement system comprises a light source, an optical fiber bundle, a refection focusing system, a first light focusing unit, a second light focusing unit, a third light focusing unit, a fourth light focusing unit, a first polarizer, a second polarizer and an optical spectrometer. The optical measurement system provided by the application comprises an oblique incidence measurement device and a vertical incidence measurement device; the measurement accuracy of a sample is improved.

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